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在304不銹鋼表面直寫掃描打標(biāo)刻蝕圖案
編輯 重慶初刻 發(fā)表于2022/8/23 0:00:00
為了抑制雜散腐蝕，實(shí)現(xiàn)微細(xì)電解加工，本文采用光纖激光表面工程技術(shù)，在304不銹鋼表面直寫掃描打標(biāo)刻蝕圖案，進(jìn)行表面改性，生成具有耐腐蝕性保護(hù)掩膜，結(jié)合微細(xì)電解加工，生成復(fù)雜微細(xì)結(jié)構(gòu)
研發(fā)的光纖激光掩膜微細(xì)電解加工裝置是將光纖激光表面改性模塊與微細(xì)電解加工模塊安裝在同一分辨率為0．4μm的三軸進(jìn)給滑臺(tái)上，解決激光掩膜電解復(fù)合加工定位問題
激光制掩膜模塊采用脈沖式輸出的光纖激光器，振鏡光學(xué)振鏡。
光纖激光器輸出功率范圍0～20W，最小激光光斑直徑為10μm，激光輸出頻率范圍0～100kHz，輸出激光波長1．064μm。
通過精密激光器的光學(xué)聚焦系統(tǒng)形成直徑很小的激光焦點(diǎn)，經(jīng)過精密三坐標(biāo)工作臺(tái)、振鏡能控制激光焦點(diǎn)在工件掃描路徑，在工件表面加工直寫，實(shí)現(xiàn)對工件表面加熱區(qū)域的尺寸和形狀嚴(yán)格控制，進(jìn)行激光表面改性處理，可以在工件上生成具有特殊性質(zhì)的復(fù)雜形狀圖案作為掩膜。由于采用的光纖激光功率小、脈沖性輸出，脈沖寬度只有100ns，所以激光掃描過的表面熔層很薄、熱作用區(qū)很小，生成亞微米級(jí)掩膜保護(hù)層
